硅衬底是指在半导体制造过程中使用的一种基础材料,通常由单晶硅或多晶硅制成。硅衬底的选择是因为它具有良好的半导体特性,物理和化学性质稳定,能够满足半导体制造的要求。硅衬底的应用范围广泛,包括集成电路、太阳能电池、LED等领域。硅衬底的使用使得成熟的硅集成电路工艺与IV族、IⅥ族光电子器件的光电特性可以结合在一起,发挥各自材料的优点,因此在光电子器件制备领域是一个活跃且有吸引力的研究方向
硅衬底在哪些领域应用最广泛?
P型硅做衬底有何优势?
碳化硅衬底的制作工艺是什么?